多晶硅行业 - 协鑫集团 - 全流程工艺（H₂ 与氯硅烷）

行业： 多晶硅

客户： 协鑫集团

应用场景： 氢化、精馏、还原、尾气回收等工艺环节

项目挑战

工艺过程中流量范围跨度大，需要满足从超低流量到高流量的测量需求；

介质具有较强腐蚀性，包括氢气和氯硅烷（SiH₃Cl），同时存在冷凝和结垢风险；

需要流量计长期保持稳定运行，满足连续生产要求。

解决方案

采用优化后的 SA80T 旋进旋涡流量计，通过防腐内处理和防堵结构优化，提高复杂介质适应能力；

针对不同介质建立多工况标定范围，并优化冷凝工况下的运行适应性。

应用成果

在复杂介质环境下保持稳定运行，具备良好的耐磨损和抗堵塞能力；

氢气测量精度达到 ±0.5%，氯硅烷测量精度达到 ±0.3%，实现稳定测量；

通过稳定计量与工艺优化，帮助装置年产能提升约 15%。

项目意义

该项目展示了旋进旋涡流量技术在腐蚀性介质、易冷凝工况下多晶硅生产装置中的应用能力，为类似工艺场景提供参考。

使用产品： SA80T 旋进旋涡流量计